精密平臺的作用

精密平臺
    隨著精密工程若干領(lǐng)域的快速發(fā)展,對其關(guān)鍵技術(shù)之一,精密平臺技術(shù)的需求也日益增長,它要求系統(tǒng)具有微/納米尺度的重復(fù)定位精度及分辨率。直線超聲電機(jī)是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)激發(fā)彈性體的超聲振動,通過定子和動子間的摩擦作用,把彈性體的微幅振動轉(zhuǎn)換成動子宏觀的直線運(yùn)動,直接推動負(fù)載,因其響應(yīng)快、斷電自鎖、無需運(yùn)動轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu),故將其應(yīng)用于精密定位平臺,可獲得極高的定位精度及分辨率。
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